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SWAGELOK超高純氣體過濾器SCF

SWAGELOKSCF 系列 UHP 氣體過濾器旨在滿足 SEMI E49.8-96 的嚴格要求。 ...

產(chǎn)品介紹

SWAGELOK SCF 系列 UHP 氣體過濾器旨在滿足 SEMI E49.8-96 的嚴格要求。 憑借專有的 Membralox 陶瓷元件和 316L VAR 不銹鋼外殼,SCF 系列 UHP 過濾器是許多要求苛刻的氣體過濾應用的解決方案。

性能特點

Membralox陶瓷過濾技術(shù)

原裝 Swagelok  VCR 端面密封接頭

在大流速下 0.003 µm 顆粒去除率大于 99.9999999 %

流量達 2700 標準升/分鐘

高顆粒去除效率

低的顆粒脫落

良好的的水分干燥特性

低的釋氣

良好的的化學相容性

高差壓等級

直列式全焊接結(jié)構(gòu)

大流速:30、225、600、900 和 2700 標準升/分鐘

端接:1/4、1/2 和 3/4 英寸一體式外螺紋 VCR 面密封接頭; 1/4 英寸內(nèi)螺紋 VCR 面密封接頭

選型指南

技術(shù)參數(shù)


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